PS-6/PS-6N半导体特气检测探头是一款专为半导体制造行业设计的气体监测解决方案，通过创新的传感技术与模块化设计，为高纯度特种气体环境提供实时、精准的泄漏监测与浓度分析能力。该产品针对半导体制造过程中涉及的高毒、易燃、腐蚀性等特殊气体特性进行优化设计，可有效辅助企业提升生产环境安全性，降低工艺风险。
核心设计上，PS-6/PS-6N采用多层复合传感技术，能够精准识别ppm级气体浓度变化，在保证检测灵敏度的同时，实现对复杂气体环境的抗干扰能力。探头内置智能温补算法，可在-20℃至50℃的宽温域环境下保持测量稳定性，适应半导体工厂不同区域的环境需求。其模块化结构支持快速拆装维护，主体外壳采用抗腐蚀合金材质与双层密封工艺，在保障长期可靠运行的同时，大幅降低后期维护复杂度。
在产品适用性方面，PS-6系列可兼容氢气、硅烷、氯气、氟化氢等三十余种半导体制造场景常用特种气体，通过即插即用式接口设计，可灵活接入现有气体监测系统。探头的数字化输出模式支持多维度数据分析，既能满足实时预警需求，也可为工艺优化提供参考依据。针对不同安装场景，提供PS-6（标准型）与PS-6N（窄域型）两种规格，分别适配管道集中监测与设备近场监控等细分需求。
该产品现已应用于多座8英寸及12英寸晶圆厂的工艺设备配套系统，其紧凑的外观设计有效降低对洁净车间空间的占用。通过持续迭代的软件算法，设备可在线完成自诊断与基线校准，显著提升监测系统的持续运作效能。企业可根据实际工艺需求，选择单点或多节点组网部署方案，构建覆盖生产全流程的特气安全防护网络。
