大口径低温泵测试系统可为环模设备低温泵提供完整的性能参数。本文介绍了一种大口径、大抽速低温泵的测试系统，对各分系统结构功能进行了详细描述。其使用流量法和流导法两种方法提供在1×10-6 Pa 至10 Pa 范围内的抽速、预冷时间、极限真空度等参数的测量。此系统同时具有加热烘烤和可调节气体流量的功能。
随着环模设备容量的不断增大，真空系统对于大抽速、高真空、清洁无油的低温泵需求也越来越强，同时对于低温泵性能测试设备的要求也随之提高。本文介绍了一种国内最新的大口径低温泵测试系统，能完成氮气等气体抽速、低温泵预冷时间、低温泵极限真空度的测定，测试罩极限真空小于1×10-6 Pa，控制精度优于0.5%F.S。
1、低温泵测试系统的总体设计及测试原理
低温泵测试系统主要由测试罩、真空测量系统、真空获得系统、流量控制系统、加热系统、循环水系统、数据采集及控制系统等部分组成。其总体设计原理如图1 所示。
抽速测试方法分为两部分，流量法和标准流导法。流量法主要用来得到低真空下(>10-3 Pa)的抽速、测试低温泵的容许真空度和流量上限；流导法主要是利用分子流下的小孔流导来测试高真空下(<10-3 Pa)泵的抽速等性能参数。
